特許
J-GLOBAL ID:200903092618957060

多層膜光フィルタ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-273133
公開番号(公開出願番号):特開2001-100024
出願日: 1999年09月27日
公開日(公表日): 2001年04月13日
要約:
【要約】【課題】 反射光の選択性が高くノイズの少ない多層膜光フィルタを提供することにある。【解決手段】 中央部の多層膜群7の両側に、高屈折率層2の膜厚d1が段階的に小さくなり、低屈折率層3の膜厚d2が膜厚d1の減少分だけ段階的に大きくなる両端の多層膜群8を付加する。また好ましくは基板1と低屈折率層3の屈折率を略同一とし、最外層に反射防止膜5を積層する。
請求項(抜粋):
異なる屈折率を有する積層された2層を基本要素として、該基本要素を繰り返し基板上に積層した多層膜からなり、前記多層膜は中央部の多層膜群と、該多層膜群を挟んで対向する両端部の多層膜群とからなり、前記基本要素の膜厚は前記多層膜群の全領域で等しく、前記中央部の多層膜群において前記基本要素はブラッグの反射条件を満たしており、前記両端部の多層膜群において基本要素が外側に向かうにつれて段階的に高屈折率層の膜厚を小さくしたことを特徴とする多層膜光フィルタ。
Fターム (6件):
2H048GA04 ,  2H048GA13 ,  2H048GA24 ,  2H048GA36 ,  2H048GA57 ,  2H048GA60
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • 誘電体多層膜光フィルタ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-214915   出願人:東海ゴム工業株式会社
  • 光学フィルタ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-195868   出願人:国際電信電話株式会社, 有限会社光伸光学
  • 特開昭62-066205
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