特許

J-GLOBAL ID：200903092627253610

通信メッセージの自動検査装置、自動検査方法、及び自動検査プログラムを記録した記録媒体

発明者： 田中 昌行 ,  小河 克之 ,  松浦 範彰 ,  藤田 雅人 ,  木元 信余 ,  中岡 英明
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 東島 隆治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-080388
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277406
出願日： 1999年03月24日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 複雑なデータ構造をもつ通信メッセージを自動的に解析して検査することができ、SECS-IIに規定された全ての通信メッセージを自動的に検査できること。【解決手段】 通信メッセージの内容を識別するための識別情報のデータと、その通信メッセージのデータ構造を示す構造情報のデータとを含んだ通信メッセージの基準データを保持するためのデータ保持部、及びデータ保持部に保持されている基準データを用いて、半導体製造装置からの通信メッセージを検査するメッセージ検査部を備える。

請求項（抜粋）：

半導体製造装置が出力する通信メッセージを自動的に検査する通信メッセージの自動検査装置であって、その装置は、前記通信メッセージの内容を識別するための識別情報のデータと、その通信メッセージのデータ構造を示す構造情報のデータとを含んだ通信メッセージの基準データを保持するためのデータ保持部、及び前記データ保持部に保持されている基準データを用いて、前記半導体製造装置からの通信メッセージを検査するメッセージ検査部、を具備したことを特徴とする通信メッセージの自動検査装置。