特許

J-GLOBAL ID：200903092634411710

光ヘテロダイン式変位量検出装置

発明者： 平野 雅夫
出願人/特許権者： ホーヤ株式会社
代理人 (1件)： 関 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-292008
公開番号（公開出願番号）：特開平9-113217
出願日： 1995年10月13日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 基準時間間隔より細かい位相を検出する手段と取り扱い容易な小型のプローブを提供し、参照信号の周波数を上げ、被測定物体の変位の高精度測定を可能にし、微小振幅で高振動数で変動する物体の運動を解析する。【解決手段】 参照光と測定光の両ビート信号のゼロクロス点の時刻を求めて電気的にメモリに蓄積し、蓄積されたゼロクロス時刻に基づいて変位量を測定する。このとき、水晶発振子のクロック周波数の時間間隔に基づいてサンプリング信号を発生し、サンプリング信号発生時におけるビート信号強度に対応した比例配分によりゼロクロス時点を決めることが好ましい。光干渉計部とプローブを偏波保持光ファイバーとマルチモード光ファイバーで連結し、プローブと電気信号処理部分とをマルチモード光ファイバーで連結して、プローブ部を小型にし離隔して設置できる。

請求項（抜粋）：

参照光と測定光の両ビート信号の位相差により微小変位量を測定する光ヘテロダイン検出法を用いる変位量検出装置において、参照光と測定光の両ビート信号のゼロクロス点の時刻を求めて、電気的にメモリに蓄積して、蓄積されたゼロクロス時刻に基づいて変位量を測定することを特徴とする変位量検出装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/02

FI (2件)：

G01B 11/00 G ,  G01B 9/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-077673
  
• 特開平4-177103
  
• 特開昭64-066566
  
• 特開平3-009202