特許
J-GLOBAL ID：200903092648688790
容器の搬入出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩原 康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-363197
公開番号（公開出願番号）：特開平11-176908
出願日： 1997年12月15日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：
【要約】【課題】 容器を搬入出する時期に余裕をもたせ,容器からの基板の取出及び容器への基板の収納を連続的に行い,しかもシステムの大型化を防ぐ容器の搬入出装置を提供する。【解決手段】 ウェハWを収納するキャリアCに対して洗浄処理部3との間でウェハWを搬入出させる搬入出装置5であって,搬入出装置5の載置台12をキャリア搬入領域13とキャリア搬出領域14に分ける。キャリア搬入領域13において,キャリア搬入位置イ,ウェハ取出位置ロ,搬入側移動位置ハを別々に設け,これらの間でキャリアCを移動する第1の搬入側移動手段20及び第2の搬入側移動手段21を設ける。キャリア搬出領域14において,キャリア搬出位置ニ,ウェハ収納位置ホ,搬出側移動位置ヘを別々に設け,これらの間でキャリアCを移動する第1の搬出側移動手段20’及び第2の搬出側移動手段21’を設ける。
請求項（抜粋）：
基板を収納した容器を搬入させると共に該容器から基板を取り出す容器搬入領域と,容器へ基板を収納すると共に基板を収納した該容器を搬出させる容器搬出領域を備えた装置において,前記容器搬入領域に,容器を搬入させるための容器搬入位置と該容器から基板を取り出すための基板取出位置とを別々に設け,前記容器搬出領域に,容器へ基板を収納するための基板収納位置と該容器を搬出させるための容器搬出位置とを別々に設け,前記容器搬入位置と前記基板取出位置との間で容器を移動させる搬入側移動手段と,前記基板収納位置と前記容器搬出位置との間で容器を移動させる搬出側移動手段とを設けたことを特徴とする,容器の搬入出装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65B 43/42
, G05B 19/418
H01L 21/68 A
, B65B 43/42
, G05B 15/02 S
