特許

J-GLOBAL ID：200903092651395175

半導体装置およびその製造方法

発明者： 遠藤 守
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-053002
公開番号（公開出願番号）：特開2001-244347
出願日： 2000年02月29日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】 メモリセルの高速化および小型化を達成することができる半導体装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】 本発明の半導体装置は、シリコン基板10の上に形成された第1層目の層間絶縁層65、第1層目の層間絶縁層65に形成されたコンタクト部C11〜C19、および第1層目の層間絶縁層65の上に形成された第1層目の配線層、を含み、第1層目の配線層は、コンタクト部C11〜C19と接続され、コンタクト部C11〜C19は、ダマシン法で形成され、バリア層202と、アルミニウムを主成分とする金属層200とを含む。

請求項（抜粋）：

少なくともMOSトランジスタが形成された半導体基板、前記半導体基板の上に形成された第1層目の層間絶縁層、前記第1層目の層間絶縁層に形成された第1のコンタクト部、および前記第1層目の層間絶縁層の上に形成された第1層目の配線層、を含み、前記第1層目の配線層は、前記第1のコンタクト部と接続され、前記第1のコンタクト部は、ダマシン法で形成され、バリア層と、アルミニウムを主成分とする金属層とを含む、半導体装置。

IPC (5件)：

H01L 21/8244 ,  H01L 27/11 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/3205 ,  H01L 21/768

FI (6件)：

H01L 21/28 301 R ,  H01L 27/10 381 ,  H01L 21/88 R ,  H01L 21/88 K ,  H01L 21/90 A ,  H01L 21/90 C

Fターム (110件)：

4M104AA01 ,  4M104BB14 ,  4M104BB37 ,  4M104CC01 ,  4M104DD22 ,  4M104DD77 ,  4M104FF18 ,  4M104FF22 ,  4M104GG14 ,  4M104GG16 ,  4M104HH04 ,  5F033HH07 ,  5F033HH08 ,  5F033HH11 ,  5F033HH18 ,  5F033HH19 ,  5F033HH20 ,  5F033HH32 ,  5F033HH33 ,  5F033HH34 ,  5F033JJ07 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ18 ,  5F033JJ19 ,  5F033JJ20 ,  5F033JJ32 ,  5F033JJ33 ,  5F033JJ34 ,  5F033KK07 ,  5F033KK08 ,  5F033KK11 ,  5F033KK18 ,  5F033KK19 ,  5F033KK20 ,  5F033KK25 ,  5F033KK27 ,  5F033KK32 ,  5F033KK33 ,  5F033KK34 ,  5F033LL06 ,  5F033MM02 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033NN31 ,  5F033NN37 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033PP19 ,  5F033QQ00 ,  5F033QQ04 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ12 ,  5F033QQ14 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ25 ,  5F033QQ31 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ48 ,  5F033QQ70 ,  5F033QQ92 ,  5F033RR01 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033RR08 ,  5F033RR09 ,  5F033RR11 ,  5F033RR21 ,  5F033RR25 ,  5F033SS04 ,  5F033SS08 ,  5F033SS11 ,  5F033SS15 ,  5F033SS21 ,  5F033VV01 ,  5F033VV16 ,  5F033WW09 ,  5F033XX01 ,  5F033XX17 ,  5F033XX24 ,  5F083BS27 ,  5F083BS48 ,  5F083GA01 ,  5F083GA09 ,  5F083GA25 ,  5F083JA35 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA46 ,  5F083JA53 ,  5F083JA57 ,  5F083KA03 ,  5F083KA05 ,  5F083KA20 ,  5F083LA12 ,  5F083LA21 ,  5F083MA04 ,  5F083MA05 ,  5F083MA16 ,  5F083MA19 ,  5F083MA20 ,  5F083PR06 ,  5F083PR21 ,  5F083PR22 ,  5F083PR23 ,  5F083PR39 ,  5F083PR40