特許

J-GLOBAL ID：200903092655547247

光物性評価装置並びに光物性評価用の光照射方法、同用の測定方法及び同用のルミネッセンス測定方法

発明者： 坂津 務
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-212003
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034545
出願日： 1992年07月15日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：

【要約】【目的】 励起光源から照射した励起光の試料による反射光や透過光から光物性を評価する装置において、励起光の照射位置を変えたり2次元的な面分析をする場合に光学系や試料の移動を不要にする。【構成】 励起光照射用の光ファイバ束20の一端側を励起光照射用のレンズ21に対応させ、他端側を真空槽2内に導入して試料10に対面させ、レンズ22で試料10上に結像させる。光ファイバ束20は多数本の光ファイバ23の端部を揃えマトリックス状に発光端が並ぶものである。レンズ21の位置を可変させて光ファイバ束20の一端側を順次走査して試料10上への照射位置を変える。

請求項（抜粋）：

レーザー光源あるいは他の励起光源から励起光を試料に照射し、試料面における反射光あるいは透過光を捕捉して該試料の光物性を評価する装置において、上記光源と上記試料との間に、励起光照射用光ファイバー束を配し、該励起光照射用光ファイバー束の端面を上記試料面と対面させ、上記励起光を上記試料面の任意の面積で照射できるようにしたことを特徴とする光物性評価装置。