特許
J-GLOBAL ID：200903092674198563
焦点検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-218549
公開番号（公開出願番号）：特開平8-083753
出願日： 1994年09月13日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：
【要約】【目的】 投影光学系の焦点位置を高スループットで且つ高精度に検出する。【構成】 光電センサPESの受光部としてウエハステージWS上に設けたセンサパターンSPを投影光学系PLの光軸AX方向と同時に投影光学系PLの光軸AXに垂直なX方向に移動させながら、露光用の照明光ILによりレチクル(R)上に設けたレチクルパターンRPの像を投影光学系PLを介して、センサパターンSP上に結像させ、センサパターンSPを通過する透過光を光電センサPESで受光し、その透過光の強度から焦点位置を検出する。
請求項（抜粋）：
第1面上のパターンの像を第2面上に投影する投影光学系の焦点位置の検出方法において、前記第1面又は第2面の一方の面側に配置された検出用パターンと、前記第1面又は第2面の他方の面側に配置され、所定形状の受光部を有する光電検出手段と、を用い、前記検出用パターンを照明し、前記検出用パターンと前記光電検出手段の受光部とを前記投影光学系の光軸に平行に相対移動させると同時に、前記検出用パターンと前記光電検出手段の受光部とを前記光軸に垂直な方向に相対移動させて、前記検出用パターンの結像光束を前記受光部が横切るときの前記光電検出手段の検出信号を取り込み、該取り込まれた検出信号に基づいて前記投影光学系の焦点位置を求めることを特徴とする焦点検出方法。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G02B 7/28
, G03B 13/36
, G03F 7/207
H01L 21/30 526 B
, G02B 7/11 M
, G03B 3/00 A
