特許
J-GLOBAL ID：200903092690888375
共焦点光学装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-247658
公開番号（公開出願番号）：特開平8-152308
出願日： 1995年09月26日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】装置の小型軽量化を図ると共に、3次元形状計測を高速に精度よくなし得、かつ各部の位置合わせを容易にでき、さらに光源光の利用効率を向上させるようにした共焦点光学装置を提供する。【解決手段】ホログラム20は破線で示す位置*1、または*2の位置に配置してもよい。光源21から参照光をホログラム20に入射するとともに、平行光を物体光としてピンホールアレイPHに入射する。この結果、ピンホールアレイに形成された複数の点光源像がレンズ14aによって平行光になった状態でホログラム20に入射され、記録される。ホログラム20の回折効率を例えば50%とすれば、参照光の50%が被計測物体7に照射され、物体7からの反射光の約50%がホログラム20を透過して光検出器アレイ9に入射されることになり、光源光の利用効率を従来より格段に向上させることができる。
請求項（抜粋）：
開口と、所定の検査点上に配設される被計測物体と、前記開口位置を第1の集光位置とし、前記検査点位置を第2の集光位置とするよう光を導光する光学手段と、ホログラムの参照光用の光源と、前記開口と検査点との間の所定位置に配設され、前記光源からの光を参照光として、前記開口から出射される点光源光がこの所定位置を通過する際の光と等価な光を再生するホログラムと、前記開口を挟んで前記光学手段と反対側に配設され、前記開口を通過した光を検出する光検出器と、を具え、前記被計測物体で散乱された前記ホログラム再生光を前記ホログラム、光学手段及び開口を介して前記光検出器に入射するようにしたことを特徴とする共焦点光学装置。
IPC (5件)：
G01B 11/24
, G02B 5/30
, G02B 5/32
, G03H 1/00
, G02B 21/06
