特許

J-GLOBAL ID：200903092690910869

結晶製造装置

発明者： 脇野 喜久男
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 宮▼崎▲ 主税 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-324066
公開番号（公開出願番号）：特開平6-172079
出願日： 1992年12月03日
公開日（公表日）： 1994年06月21日
要約：

【要約】【目的】 厳格な温度コントロールを必要とすることなく、しかも大型の単結晶を容易に得ることを可能とする結晶製造装置を提供する。【構成】 固体原料11を加熱するための加熱光源12と、加熱光源12から与えられる加熱光12aを反射する反射鏡13とを備え、固体原料11の幅より長いライン状の横断面を有する加熱ビーム光12bが固体原料に照射され、かつレーザー装置20及び光学手段21を介して横断面がライン状のレーザー光21aが固体原料11に照射されるように構成されている結晶製造装置。

請求項（抜粋）：

固体原料を加熱溶融するための加熱光源と、前記加熱光源からの加熱光を反射して、横断面が該固体原料の幅よりも長いライン状の加熱ビームを固体原料照射させる反射鏡とを備えることを特徴とする、結晶製造装置。

IPC (2件)：

C30B 13/24 ,  B01J 19/12

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭47-033705
  
• 特開平2-258694
  
• 特開昭64-087589