特許

J-GLOBAL ID：200903092691422302

多波長位相干渉法及び多波長位相干渉計

発明者： 野口 俊
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 宇井 正一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-328321
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181005
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月18日
要約：

【要約】【目的】 多波長干渉計において、装置を複雑にせず、測定に要する時間もほとんど増加させることなしに、不連続部分の段差の大きさが一義的に決定できる範囲を拡大できるようにする。【構成】 光を分割して被測定物の表面と参照鏡で反射させた後合成して干渉させる干渉光学系で複数の異なる波長の光を選択的に干渉させ、各波長の光による干渉縞の位相差より干渉縞の縞次数を決定するようにした多波長干渉法において、被測定物の表面又は前記参照鏡を、光路長が前記合成波長分づつ変化するように移動させ、干渉縞の可視度が最大になる時に、合成波長の縞次数をゼロであると判定する。

請求項（抜粋）：

光を分割して被測定物の表面と参照鏡で反射させた後合成して干渉させる干渉光学系で複数の異なる波長の光を選択的に干渉させ、各波長の光による干渉縞の位相差より干渉縞の縞次数を決定することにより、一義的に光路長差を測定できる範囲を合成波長の範囲に拡大した多波長干渉法において、前記被測定物の表面又は前記参照鏡を、光路長が前記合成波長分づつ変化するように移動させ、干渉縞の可視度が最大になる時に、合成波長の縞次数がゼロであると判定することを特徴とする多波長位相干渉法。