特許
J-GLOBAL ID：200903092697478172
Al板の表面欠陥自動検査法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯田 敏三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-282370
公開番号（公開出願番号）：特開平9-101265
出願日： 1995年10月05日
公開日（公表日）： 1997年04月15日
要約：
【要約】【課題】 Al板の表面欠陥、特に異物が表面に埋め込まれてなる欠陥に関して確実にその検査を可能にし、かつ自動検査を実現する。【解決手段】 アルマイト処理を施した被検査Al板3に所定の角度から所定の面積に光を当て、この光の反射光をCCDカメラ1で感知し、感知した光をA/D変換器6にて波長別に分類してその強度と反射面積を数値化し、演算回路7で波長別に分類した前記数値の濃度(強度)分布を求め、正規分布曲線と比較演算処理する。こうして、Al板の表面欠陥を検知、測定する。
請求項（抜粋）：
アルマイト処理を施した被検査Al板に所定の角度から所定の面積に光を当て、この光の反射光を受光手段で感知し、感知した光を波長別に分類してその強度と反射面積を数値化して、波長別に分類した前記数値の濃度(強度)分布を求め、正規分布曲線と比較演算処理することにより、表面欠陥を検知、測定することを特徴とするAl板の表面欠陥自動検査法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01N 21/88 A
, G01N 21/88 J
, G01N 21/89 B
