特許
J-GLOBAL ID：200903092699816210
超音波接合装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-154707
公開番号（公開出願番号）：特開平8-019877
出願日： 1994年07月06日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：
【要約】【目的】 接合時における超音波のエネルギーロスを低減せしめ、また装置自体の信頼性を向上せしめると共に接合の利用範囲を広げるようにした超音波接合装置を提供する。【構成】 超音波の予め定めた周波数において少なくとも1波長の長さを有し振動時に縦方向運動の3つの最大振幅点を有する超音波ホーン27と、超音波ホーン27の前記最大振幅点の1つに配置される被接合部材W1 ,W2 と係合する係合用チップ31と、超音波ホーン27の両端における最大振幅点の他の2つの各々に連結されたブースタ25,29と、ブースタの一方に接続された超音波振動子23と、各ブースタ25,29におけるノーダルポイントを機械的なクランプ手段でクランプした支持部材19R,19Lと、この支持部材19R,19Lと被接合部材W1 ,W2 を載置した受台5とを相対的に移動せしめて被接合部材に係合用チップ31を加圧せしめる加圧手段7と、を備えていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
超音波の予め定めた周波数において少なくとも1波長の長さを有し振動時に縦方向運動の3つの最大振幅点を有する超音波ホーンと、この超音波ホーンの前記最大振幅点の1つに配置される被接合部材と係合する係合用チップと、前記超音波ホーンの両端における前記最大振幅点の他の2つの各々に連結されたブースタと、このブースタの一方に接続された超音波振動子と、前記各ブースタにおけるノーダルポイントを機械的なクランプ手段でクランプされた支持部材と、この支持部材と前記被接合部材を載置した受台とを相対的に移動せしめて被接合部材に前記係合用チップを加圧せしめる加圧手段と、を備えていることを特徴とする超音波接合装置。
IPC (2件)：
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