モノシランの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-213928
公開番号（公開出願番号）：特開平10-059707
出願日： 1996年08月13日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：

【要約】【課題】クロロシランから不均化反応によって水素と塩素の割合が反応原料と異なるクロロシランと共にモノシランを収率良く製造する方法を提供する。【解決手段】クロロシランを白金及び/又はパラジウムのような第八族の金属元素の化合物を担持した、一級アミノ基或いは三級アミノ基を導入して成る弱塩基性陰イオン交換樹脂のような陰イオン交換樹脂より成る不均化反応触媒と接触させる。

請求項（抜粋）：

クロロシランを第八族の金属元素の化合物を担持した陰イオン交換樹脂より成る不均化反応触媒と接触させることを特徴とするモノシランの製造方法。

IPC (3件)：

C01B 33/04 , B01J 31/08 , C01B 33/107

FI (3件)：

C01B 33/04 , B01J 31/08 M , C01B 33/107 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭50-119798
特開昭47-012569
特開昭54-059230

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