感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-067591
公開番号（公開出願番号）：特開平7-248621
出願日： 1994年03月11日
公開日（公表日）： 1995年09月26日
要約：

【要約】【目的】高解像度を示し、かつライン幅30μm以下の細線密着性に優れ、パターン形成性にも優れた感光性樹脂組成物を提供すること。【構成】酸価が100〜200mgKOH/gで重量平均分子量が30000〜120000のベースポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)、P,P′-ビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン(C)、ヘキサアリールビイミダゾール(D)及びロイコ染料(E)を含んでなる樹脂組成物において、(A)と(B)の合計100重量部に対して(C)を0.01〜0.25重量部、(D)を1.0〜10重量部、(E)を0.05〜2重量%含有し、かつ(B)成分が重合性不飽和基を2個有してなるエチレン性不飽和化合物を95重量%以上含有する。

請求項（抜粋）：

酸価が100〜200mgKOH/gで重量平均分子量が30000〜120000のベースポリマー(A)、エチレン性不飽和化合物(B)、P,P′-ビス(ジアルキルアミノ)ベンゾフェノン(C)、ヘキサアリールビイミダゾール(D)及びロイコ染料(E)を含んでなる樹脂組成物において、(A)と(B)の合計100重量部に対して(C)を0.01〜0.25重量部、(D)を1.0〜10重量部、(E)を0.05〜2重量%含有し、かつ(B)成分が重合性不飽和基を2個有してなるエチレン性不飽和化合物を95重量%以上含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/027 502 , G03F 7/004 507 , G03F 7/004 512 , G03F 7/028 , G03F 7/033 , H05K 3/06

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平2-048664
特開平3-200804

審査官引用 (6件)

特開平2-048664
特開平2-048664
特開平3-200804

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