整圧器およびガス供給システム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大場充 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-180485
公開番号（公開出願番号）：特開2001-355751
出願日： 2000年06月15日
公開日（公表日）： 2001年12月26日
要約：

【要約】【課題】低差圧であっても2次圧力を所望値に維持できるとともに小型かつ低コストの整圧器を提供する。【解決手段】 1次側キャビティ54から2次側キャビティ55への流体流量を制御するバルブ57aと、2次側キャビティ55内の2次圧力を感知するとともに2次圧力の変動をバルブ57aに伝達するダイアフラム58aと、ダイアフラム58aを介してバルブ57aを開方向に付勢するコイルばね59aとを有する第1の整圧部51aと、1次側キャビティ54から2次側キャビティ55への流体流量を制御するバルブ57bと、1次側キャビティ54内の1次圧力を感知するとともに1次圧力の変動をバルブ57bに伝達するダイアフラム58bと、ダイアフラム58bを介してバルブ57bを開方向に付勢するコイルばね59bとを有する第2の整圧部51bと、を備えた整圧器50。

請求項（抜粋）：

流体の供給流路に設置されて1次側と2次側とを区分し、かつ2次側の流体圧力を所定の設定2次圧力に維持するための整圧器であって、前記2次側の流体圧力が前記設定2次圧力を越えている場合には前記1次側から前記2次側への流体流量が減少するように動作し、かつ前記2次側の流体圧力が前記設定2次圧力未満の場合には前記1次側から前記2次側への流体流量が増加するように動作する第1の整圧部と、1次側の流体圧力が所定の設定1次圧力を越えている場合には前記1次側から前記2次側への流体流量が減少するように動作し、かつ前記1次側の流体圧力が前記設定1次圧力未満の場合には前記1次側から前記2次側への流体流量が増加するように動作する第2の整圧部と、を備えたことを特徴とする整圧器。

IPC (4件)：

F16K 17/04 , F16K 17/06 , F16K 17/30 , G05D 16/06

FI (4件)：

F16K 17/04 H , F16K 17/06 B , F16K 17/30 A , G05D 16/06 M

Fターム (34件)：

3H059AA06 , 3H059BB05 , 3H059CA13 , 3H059CB12 , 3H059CC02 , 3H059CD04 , 3H059CD12 , 3H059CE05 , 3H059FF05 , 3H060AA02 , 3H060BB03 , 3H060CC07 , 3H060DC05 , 3H060DC10 , 3H060DD04 , 3H060DD12 , 3H060DD17 , 3H060EE06 , 3H060HH07 , 3H060HH14 , 5H316AA11 , 5H316BB05 , 5H316CC04 , 5H316DD06 , 5H316DD07 , 5H316EE02 , 5H316EE10 , 5H316EE12 , 5H316ES02 , 5H316JJ01 , 5H316JJ13 , 5H316KK02 , 5H316KK04 , 5H316KK08

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭52-105329
特開昭52-105329

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