特許

J-GLOBAL ID：200903092707542427

塗布ノズル及びこの塗布ノズルを備えた塗布装置

発明者： 藤山 重美 ,  佐合 宏仁
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 小山 有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-185525
公開番号（公開出願番号）：特開平9-029155
出願日： 1995年07月21日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：

【要約】【目的】 所定幅で塗布液を塗布するノズルに付着した塗布液を確実に除去する。【構成】 ノズル4には塗布液の注入路5が形成され、この注入路5はノズル4内部のマニホールド6につながり、またマニホールド6から下方に所定幅の塗布液吐出通路7が形成され、この塗布液吐出通路7を挟んで前後に2本のガス噴出通路8,9が設けられている。これらガス噴出通路8,9はその延長線が塗布液吐出通路7の延長線と交わるように傾斜している。ガス噴出通路8,9にはバルブ10を介してガス源からのガスが供給され、またガス噴出通路8,9にはバルブ11を介して洗浄液の供給源が接続されている。

請求項（抜粋）：

板状被処理物表面に所定幅で塗布液を塗布するノズルであって、このノズルには所定幅の塗布液吐出通路が開口し、この塗布液吐出通路を挟んで2本のガス噴出通路が設けられ、これらガス噴出通路はその延長線が塗布液吐出通路の延長線と交わるように傾斜し、更にガス噴出通路は切換え弁によって洗浄液噴出通路となることを特徴とする塗布ノズル。

IPC (3件)：

B05C 5/00 101 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

B05C 5/00 101 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/30 564 Z