特許
J-GLOBAL ID：200903092716921953
Z-ティルトステージ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-327178
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164860
出願日： 1991年12月11日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：
【要約】【目的】 焦点ずれ補正動作と傾きずれ補正動作を行うZ-ティルトステージ装置において、簡単な構成で焦点ずれ補正と傾きずれ補正のサーボ制御を容易に実現する。【構成】 XYステージ2上に、スライドテーブル7とZ駆動手段8a、8bを設け、スライドテーブル7上に、固定くさび部材9と可動くさび部材10a、10bおよびティルト駆動手段11a〜11dを設け、各くさび部材による上下方向の力を支持機構12a〜12cにより駆動点A〜Cに伝える。駆動点A〜Cを辺AC、ABがそれぞれ傾きω1、ω2の回転基準軸方向に平行な直角三角形を成すように配置することにより、Z、ω1、ω2の3軸を独立に駆動できるようにし、サーボ制御を容易にする。
請求項（抜粋）：
XYステージ上に設けられ、焦点検出系からの検出信号に基づいて上下方向のずれを補正する動作と傾き検出系からの検出信号に基づいて傾きのずれを補正する動作を行うZ-ティルトステージ装置において、Z-ティルトテーブルと、Z-ティルトテーブルとXYテーブルを連結する上下案内機構と、XYステージ上でZ-ティルトテーブルより下方に設けられ水平方向の一方向に移動可能なスライドテーブルと、スライドテーブルを駆動するZ駆動手段と、スライドテーブル上に固定された1個の固定くさび部材と、スライドテーブル上に水平方向の一方向に移動可能に設けられ固定くさび部材と同一テーパを持つ2個の可動くさび部材と、可動くさび部材をそれぞれ駆動する2個のティルト駆動手段と、固定くさび部材および可動くさび部材上に当接するようにZ-ティルトテーブルの3箇所の駆動点に設けられた支持機構とから成り、3箇所の駆動点を結んでできる三角形が、固定くさび部材に対応する駆動点での内角が直角で、その両側の2辺が傾き検出系によって検出される互いに直交する傾きの回転基準軸と平行である直角三角形を構成するように3箇所の駆動点を配置したことを特徴とするZ-ティルトステージ装置。
IPC (2件)：
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