特許

J-GLOBAL ID：200903092717286380

低温リアクテイブ・イオン・エツチング装置

発明者： 城崎 友秀 ,  佐野 博実 ,  山本 真伸 ,  渡辺 英俊
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-248400
公開番号（公開出願番号）：特開平5-062939
出願日： 1991年09月03日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】より均一なエッチングを行うことができ、安全性が高く、冷却効率に優れ、ウエハの正確な温度測定が可能な、平行平板型の低温リアクティブ・イオン・エッチング装置を提供する【構成】装置は、エッチングチャンバ、反応ガス供給手段、エッチングチャンバ排気手段、冷却手段、温度計、及びRF電源系から成る。そして、反応ガス供給手段は、プレナム140及びコンダクタンス・バッファボード142を有し、エッチングチャンバ排気手段は複数のエッチングチャンバ排気ポート200を有し、冷却手段は、高真空に維持された環境24内に配置された冷媒用配管182を含み、温度計は蛍光式のファイバー温度計22から成る。

請求項（抜粋）：

エッチングチャンバ、反応ガス供給手段、エッチングチャンバ排気手段、冷却手段、温度計、及びRF電源系から成る平行平板型の低温リアクティブ・イオン・エッチング装置であって、(A)反応ガス供給手段は、プレナム及びコンダクタンス・バッファボードを有し、(B)エッチングチャンバ排気手段は複数のエッチングチャンバ排気ポートを有し、(C)冷却手段は、高真空に維持された環境内に配置された冷媒用配管を含み、(D)温度計は蛍光式のファイバー温度計から成る、ことを特徴とする低温リアクティブ・イオン・エッチング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/302 ,  H05H 1/46

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-225121
  
• 特開昭61-163640
  
• 特開平1-106433