特許

J-GLOBAL ID：200903092718509910

ガスエツチングのエンドポイント検出方法

発明者： 矢内 秀樹
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-284818
公開番号（公開出願番号）：特開平5-121367
出願日： 1991年10月30日
公開日（公表日）： 1993年05月18日
要約：

【要約】【目的】エッチングのエンドポイントを正確に検知するとともに簡便且つ安価にして決定する。【構成】シリコン系堆積物を有するエッチング室内に三フッ化塩素ガスを導入し、シリコン系堆積物に三フッ化塩素ガスを接触させることによってシリコン系堆積物を反応ガス化させて成るガスエッチングであって、前記エッチング室内に熱検出手段を配し、該熱検出手段でシリコン系堆積物と三フッ化塩素ガスの反応熱の発生が止まったときを検知することによってガスエッチングのエンドポイントを見つける。

請求項（抜粋）：

シリコン系堆積物を有するエッチング室内に三フッ化塩素ガスを導入し、シリコン系堆積物に三フッ化塩素ガスを接触させることによってシリコン系堆積物を反応ガス化させて成るガスエッチングであって、前記エッチング室内に熱検出手段を配し、該熱検出手段でシリコン系堆積物と三フッ化塩素ガスの反応熱の発生が止まったときを検知することによってガスエッチングのエンドポイントを見つけることを特徴とするガスエッチングのエンドポイント検出方法。