特許
J-GLOBAL ID：200903092719941165
レーザ加工装置及びレーザ加工方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奥田 弘之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-013712
公開番号（公開出願番号）：特開2003-220484
出願日： 2002年01月23日
公開日（公表日）： 2003年08月05日
要約：
【要約】【課題】 レーザビームによる走査速度を向上させることにより、レーザ加工の効率化を実現する。【解決手段】 レーザ発振器12と、レーザビームLを加工対象物22に導く反射ミラー14と、可動レンズ機構13を備えたレーザ加工装置10であって、可動レンズ機構13は、回転自在に配置されたレンズホルダ28と、レンズホルダ28によって偏心的に支持された集光レンズ30と、レンズホルダ28を所定方向に所定の速度で回転させる超音波モータ34を備えた。
請求項（抜粋）：
レーザ発振器と、該レーザ発振器から出力されたレーザビームを加工対象物に導く光学系と、可動レンズ機構を備えたレーザ加工装置であって、上記可動レンズ機構は、回転自在に配置されたレンズホルダと、該レンズホルダによって偏心的に支持された集光レンズと、上記レンズホルダを所定方向に所定の速度で回転させる駆動源とを備えたことを特徴とするレーザ加工装置。
Fターム (3件)：
4E068CD06
, 4E068CD14
, 4E068CE01
