特許
J-GLOBAL ID：200903092720349229
アライメントマーク
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-210854
公開番号（公開出願番号）：特開平7-169681
出願日： 1986年12月26日
公開日（公表日）： 1995年07月04日
要約：
【要約】【目的】 信号出力の方向性の異なるアライメントマークを組み合わせることで、アライメントマークと他のパターンとの識別性を向上させ、アライメントの精度の向上を図る。【構成】 アライメントマークは、同一方向に延在するアライメントマーク11、12、13が互いに隣接して構成され、アライメントマーク12の信号出力は、他のアライメントマーク11、13の信号出力とは異なる方向を有する。
請求項（抜粋）：
第1の方向に延在し、その信号出力が前記第1の方向とは異なる第2の方向を有する第1のアライメントマークと、この第1のアライメントマークに隣接し、前記第1の方向に延在し、かつその信号出力が前記第1の方向および前記第2の方向とは異なる第3の方向を有する第2のアライメントマークと、この第2のアライメントマークに隣接し、前記第1の方向に延在し、かつその信号出力が前記第1の方向および前記第3の方向とは異なる第4の方向を有する第3のアライメントマークとを有することを特徴とするアライメントマーク。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G01B 11/00
, G03F 9/00
, H01L 21/68
