特許
J-GLOBAL ID：200903092727250880
カラーフィルタ基板の検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-071905
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271436
出願日： 1995年03月29日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：
【要約】【構成】 第1照明装置3、第1撮像装置5、第1画像処理部8にて、カラーフィルタ基板1からの正反射光を利用して、カラーフィルタ基板1上にある白抜け部及び異物による欠陥部分の面積と位置とを求め、第2照明装置4、第2撮像装置6、第2画像処理部9にて、カラーフィルタ基板1上にある異物が乱反射する付着異物であるか殆ど光を反射しない固定異物であるかを検出し、主制御部10が、これらの画像処理の結果から、有害な白抜け部である白抜け欠陥と、有害な固定異物である異物欠陥とを検出すると共に、その欠陥の数から、良品・修正品・不良品の判定を行なう。【効果】 作業者の検査にかかる時間を短縮することができ、カラーフィルタ基板1の検査を自動的かつ定量的に行なうことが可能なカラーフィルタ基板の検査装置を提供できる。
請求項（抜粋）：
透光性基板上にカラーフィルタが形成されたカラーフィルタ基板、或いはカラーフィルタ上に更に透明層が形成されたカラーフィルタ基板を検査対象とし、載置台上の上記カラーフィルタ基板の基板面を照明する第1照明部と、載置台上の上記カラーフィルタ基板の表面に対して低い角度で投光する第2照明部と、上記第1照明部の光で照明されたカラーフィルタ基板の表面を撮像する第1撮像部と、上記第2照明部からの光がカラーフィルタ基板の表面で散乱した散乱光を捉える第2撮像部と、上記第1撮像部からの映像信号を受けて、輝度差から白抜け部と異物の位置と大きさを求める第1画像処理部と、上記第2撮像部からの映像信号を受けて、異物による高輝度部分の位置と大きさを求める第2画像処理部と、上記第1画像処理部で得られた白抜け部と異物の情報から大きさに基づいて白抜け部及び異物が有害か無害かを判定すると共に、第1及び第2の各画像処理部で得られた情報から、異物が固定異物か付着異物かを判定し、有害な白抜け部と有害な固定異物とを検出する欠陥検出部とが設けられていることを特徴とするカラーフィルタの検査装置。
FI (2件)：
G01N 21/88 D
, G01N 21/88 Z
