特許
J-GLOBAL ID：200903092727689912
洗浄装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
萩原 康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-196089
公開番号（公開出願番号）：特開平8-045889
出願日： 1994年07月28日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】 パイプの復元性による悪影響のない配管を備えた洗浄装置を提供する。【構成】 被処理体を洗浄するための洗浄液が充填された一または二以上の洗浄槽を備えると共に、該洗浄槽に充填される洗浄液を供給、排出するための配管が設けられた洗浄装置において、配管を樹脂製のパイプによって構成し、パイプの折り曲げ部には、その折り曲げ姿勢を保持するための保持具を装着する。
請求項（抜粋）：
被処理体を洗浄するための洗浄液が充填された一または二以上の洗浄槽を備えると共に、該洗浄槽に充填される洗浄液を供給、排出するための配管が設けられたものであって、該配管を樹脂製のパイプによって構成し、該パイプの折り曲げ部には、その折り曲げ姿勢を保持するための保持具を装着してなる洗浄装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/00
, F16L 43/00
