特許

J-GLOBAL ID：200903092732231177

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

発明者： 塚田 勝重 ,  大友 聡 ,  藤田 瑛二
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-341257
公開番号（公開出願番号）：特開平5-173330
出願日： 1991年12月24日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】【目的】 解像性、はんだ耐熱性、耐溶剤性及び耐薬品性に優れたシンボルマークを形成できるアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物及び感光性エレメントを提供すること。【構成】 (a)カルボキシル基及び/又はジカルボン酸無水物基と芳香環とを含有し、アルカリ水溶液に可溶性の高分子結合剤、(b)芳香族系エポキシ樹脂に光反応性モノカルボン酸及び飽和又は不飽和の多塩基酸無水物を反応させて得られる、アルカリ水溶液に可溶性のオリゴマー、(c)着色剤並びに(d)活性光線の照射により遊離ラジカルを生成する増感剤及び/又は増感剤系を含有してなる感光性樹脂組成物及び該組成物を支持体フィルム上に積層してなる感光性エレメントである。

請求項（抜粋）：

(a)カルボキシル基及び/又はジカルボン酸無水物基と芳香環とを含有し、アルカリ水溶液に可溶性である高分子結合剤、(b)少なくとも2個のエポキシ基を有する芳香族系エポキシ化合物と不飽和モノカルボン酸とを、酸当量/エポキシ当量比が 0.5〜1.1の範囲となるように付加反応させて得られた不飽和化合物の二級水酸基及び残存エポキシ基に、飽和又は不飽和の多塩基酸無水物を反応させて得られる、アルカリ水溶液に可溶性であるオリゴマー、(c)着色剤並びに(d)活性光線の照射により遊離ラジカルを生成する増感剤及び/又は増感剤系を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/033 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 505 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027 ,  H05K 1/02