ウエハはがし装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：早瀬憲一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-269995
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082491
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：

【要約】【目的】ウエハが割れたり、ウエハ表面に傷をつけることなく治具からウエハをはがすことができるウエハはがし装置を得る。【構成】裏面から貫通穴を通して表面に溶剤が到達するウエハ取り付け治具の表面にワックス等の接着物質を介してウエハを貼り付け、このウエハが貼り付けられたウエハ取り付け治具をホルダーによって保持し、このホルダーを介して溶剤槽内に収容された上記接着物質を溶解する溶剤中にウエハ取り付け治具全体を浸入させる。

請求項（抜粋）：

所望の物質によって治具に貼り付け固定されたウエハを該治具からはがし取るウエハはがし装置において、表面と裏面とを貫通する複数の貫通穴を有し、該表面の平坦面上に所望の物質を介してウエハが貼り付け固定される板状のウエハ取り付け治具と、後述する溶剤が上記貫通穴に侵入できるよう上記ウエハとり付け治具を保持する治具保持手段と、内部に上記所望の物質を溶解する溶剤が収容され、上記保持手段に保持されたウエハとり付け治具が上記溶剤中に浸かりきる構造の溶剤槽とを備えたことを特徴とするウエハはがし装置

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