特許

J-GLOBAL ID：200903092748841030

マイクロレンズを備えた固体撮像素子

発明者： 釜下 敦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 稲本 義雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-216478
公開番号（公開出願番号）：特開平6-045572
出願日： 1992年07月22日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 環状の受光領域に対して、集光効率が悪化せずに有効に集光できるようにする。【構成】 半導体基板の1主面上に分離層としての酸化物2が形成され、この酸化物内に受光領域3が環状に埋設され、半導体基板と対向する主面上にはマイクロレンズ4が形成される。受光領域3の半導体基板と対向する主面上に形成されたマイクロレンズ4は、環状に形成されており、このマイクロレンズ4の凸部の中心を結ぶ線は、受光領域3の環状の帯の中心の線と一致するように形成される。

請求項（抜粋）：

半導体基板の1主面上に受光領域を形成し、前記受光領域の前記半導体基板と対向する主面上にマイクロレンズを形成してなり、前記受光領域を環状に形成し、前記マイクロレンズと受光領域により画素を構成するようにしたマイクロレンズを備えた固体撮像素子において、前記マイクロレンズを環状に形成したことを特徴とするマイクロレンズを備えた固体撮像素子。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  H04N 5/335