特許

J-GLOBAL ID：200903092755992191

異物検査方法及び装置

発明者： 田代 英之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-137640
公開番号（公開出願番号）：特開平6-347412
出願日： 1993年06月08日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：

【要約】【目的】 それぞれ微細度が異なる複数のパターンが形成された被検基板の異物検査を効率的に行う。【構成】 所定のパターンが形成されたレチクル1の必要検査エリアでレーザビームLBを2次元的に走査し、必要検査エリア上の異物からの散乱光を集光レンズ10A〜10Cを介して光電子増倍管11A〜11Cで受光する。例えば光電子増倍管11A〜11Cの電源電圧を換えることにより異物検出感度を切り換える。レチクル1の必要検査エリアを描画されているパターンの粗密に応じて複数の分割検査エリアに分割し、各分割検査エリアでそれぞれ異物検出感度を独立に設定する。

請求項（抜粋）：

所定のパターンが形成された被検基板の被検領域で光ビームを2次元的に相対的に走査し、前記被検領域から生じる光情報を電気信号に変換し、該電気信号に基づいて前記被検基板に付着する異物を検出する方法において、前記被検基板の被検領域を前記所定のパターンの部分的な粗密に応じて複数の小領域に分割し、前記小領域毎に異物の検出感度を独立に設定するようにしたことを特徴とする異物検査方法。