特許

J-GLOBAL ID：200903092759799442

有機エレクトロルミネッセンス素子を有するディスプレイ装置の製造装置及び製造方法

発明者： 源田 和男
出願人/特許権者： コニカミノルタホールディングス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-208181
公開番号（公開出願番号）：特開2004-055198
出願日： 2002年07月17日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：

【課題】有機エレクトロルミネッセンス素子を有するディスプレイ装置の製造における蒸着工程では、EL基板とマスクをμmオーダーの精度で位置合わせする必要があるが、CCDカメラを用いる位置合わせは制御機構が大規模になり効率が良くない。また、ガイドピンとガイド孔を用いる位置合わせ手段もそのための移動制御手段が複雑、且つ、大規模になり、効率がよくない。【解決手段】蒸着室を挟んで両側に予備室を配置して、両予備室を用いてマスク交換を行い、マスクとEL基板間の位置合わせには、ボールプランジャとコンタクトホールとからなる位置合わせ手段を用いる。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

蒸着室及び該蒸着室を挟んで両側に配置された予備室を備えた有機エレクトロルミネッセンス素子を有するディスプレイ装置の製造装置であって、EL基板を支持する基板支持部材、マスクを支持する可動なマスク支持部材及び該マスク支持部材を前記蒸着室と前記予備室間で移動可能に支持するレールを有し、前記基板支持部材と前記マスク支持部材とに設けた位置合わせ手段により、前記EL基板と前記マスクとを位置合わせした後に、前記EL基板に層形成材料を蒸着させることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子を有するディスプレイ装置の製造装置。

IPC (3件)：

H05B33/10 ,  C23C14/24 ,  H05B33/14

FI (3件)：

H05B33/10 ,  C23C14/24 G ,  H05B33/14 A

Fターム (6件)：

3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029HA03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 真空蒸着装置およびその真空蒸着装置を用いた有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-018794   出願人：出光興産株式会社