特許

J-GLOBAL ID：200903092772025332

固定砥粒ワイヤソー

発明者： 田子 一弘 ,  塚田 修一
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-022080
公開番号（公開出願番号）：特開2000-218510
出願日： 1999年01月29日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：

【要約】【課題】被加工物切断面の表面うねり量が少ない精度の良い切断を行う。【解決手段】グルーブローラ18A、18Bの軸間距離A(mm)をインゴット32の直径DGに応じて変化させることが可能であるので、インゴット32の切断面のうねり量が大きくならず、良好な切断面を得ることができる。

請求項（抜粋）：

固定砥粒付きワイヤを複数個のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させるとともに前記ワイヤ列の切断部に被加工物を押し当てて多数枚のウェーハに切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記グルーブローラ軸間隔が異なるグルーブローラユニットを予め複数備え、切断する被加工物の大きさに応じてグルーブローラユニットを選択して切断することを特徴とする固定砥粒付ワイヤソー。

IPC (2件)：

B24B 27/06 ,  B28D 1/08

FI (3件)：

B24B 27/06 Q ,  B24B 27/06 H ,  B28D 1/08

Fターム (16件)：

3C058AA05 ,  3C058AA09 ,  3C058AA13 ,  3C058AA14 ,  3C058AA18 ,  3C058AB08 ,  3C058BA07 ,  3C058BC02 ,  3C058CA01 ,  3C058CB01 ,  3C058DA03 ,  3C069AA01 ,  3C069BA06 ,  3C069BB03 ,  3C069CA04 ,  3C069EA02