特許
J-GLOBAL ID：200903092790130801
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-315151
公開番号（公開出願番号）：特開平6-337261
出願日： 1993年12月15日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：
【要約】【目的】 試料の磁界分布を高分解能で精度よく測定する。【構成】 試料1表面と磁性体からなるプローブ2とを接触させてプローブを試料表面で走査し、両者の接触点での試料の磁化状態を前記磁性体に転写する。この磁性体に光源部10から直線偏光のレーザ光3を照射し、反射光を直線偏光板4を介して受光手段5で受光して転写した磁化状態を磁気光学効果であるカー効果により検出する。制御手段6で駆動手段7を駆動してプローブを試料表面上で走査すると共にカー回転から求まる強度情報を検出し、処理手段8で試料とプローブとの接触位置とその位置での検出結果とを対応させて磁界分布を求める。
請求項（抜粋）：
少なくとも表面が磁性体からなる探針、試料に対して前記探針を接触させた状態で該試料と探針とを相対的に移動させる移動手段、前記磁性体に光を照射して磁気光学効果により該磁性体の磁化状態を検出する磁化状態検出手段、および前記探針の試料上での位置と該位置における前記磁化状態検出手段で検出された情報とを対応させて前記試料の磁化分布を求める情報処理手段を有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (5件)：
G01N 27/87
, G01N 37/00
, G01R 33/032
, G01R 33/10
, G01R 33/12
