膜前駆体蒸発システムにおいて使用される膜前駆体のトレーおよびその使用方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-031015
公開番号（公開出願番号）：特開2007-211346
出願日： 2007年02月09日
公開日（公表日）： 2007年08月23日
要約：

【課題】膜前駆体(350)の露出表面積を向上させることにより成膜速度を向上するため、高伝導性の気相供給システム(40)に結合された、高伝導性のマルチトレー膜前駆体蒸発システム(50、300)を示した。【解決手段】マルチトレー膜前駆体蒸発システムは、1または2以上のトレー(330、340)を有する。各トレーは、例えば、固体粉末状または固体タブレット状の膜前駆体を支持し、保持するように構成される。また、膜前駆体が加熱されている間、各トレーは、膜前駆体の上部に流れるキャリアガスに、高い導電性が提供されるように構成されても良い。例えば、キャリアガスは、膜前駆体の上方から内方に流れ、積層可能なトレー内の流束溝を介して垂直に上方に流れ、固体前駆体蒸発システム(300)の出口(322)から排出される。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

膜前駆体蒸発システム内に、膜前駆体を支持し、1または2以上の追加の積層可能なトレーと積層させることができるように構成された交換式のトレーを有する、交換式の膜前駆体支持組立体であって、前記膜前駆体蒸発システムは、外壁および底部を有する容器と、該容器に密閉結合するように構成された蓋とを有し、前記蓋は、薄膜成膜システムと密閉結合するように構成された出口を有し、前記交換式のトレーは、内端部と外端部とを有し、両者の間に、前記膜前駆体が保持され、前記端部の一方は、積層可能であり、前記交換式のトレーは、前記積層可能な端部に形成された1または2以上のトレー開口を有し、キャリアガス供給システムからトレーの他の端部に向かって、キャリアガスが前記膜前駆体の上部を流れるように構成され、前記キャリアガスは、膜前駆体気相とともに、前記蓋の前記出口を介して排気される、交換式の膜前駆体支持組立体。

IPC (2件)：

C23C 16/448 , H01L 21/285

FI (2件)：

C23C16/448 , H01L21/285 C

Fターム (26件)：

4K030AA02 , 4K030AA03 , 4K030AA04 , 4K030AA11 , 4K030AA12 , 4K030BA01 , 4K030BA05 , 4K030BA06 , 4K030BA12 , 4K030BA17 , 4K030BA18 , 4K030BA20 , 4K030CA04 , 4K030EA01 , 4K030FA03 , 4K030KA45 , 4K030LA15 , 4M104BB04 , 4M104BB13 , 4M104BB14 , 4M104BB16 , 4M104BB17 , 4M104BB18 , 4M104DD43 , 4M104DD44 , 4M104DD45

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