特許
J-GLOBAL ID：200903092792293805
ダイサーシート貼り付け方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 秀隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-321833
公開番号（公開出願番号）：特開2003-124153
出願日： 2001年10月19日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
要約：
【要約】【課題】ワークに局所的な力を加えず、簡単な装置でかつ低コストで気泡を発生させずにダイサーシートに貼り付けることができるダイサーシート貼り付け方法を提供する。【解決手段】ダイサーカットされるワークWとダイサーシート4との貼り付け方法であって、凸のR面1aを持ち、このR面に真空吸引穴1bを設けた弾性体よりなるヘッド1に、ワークWをR面1aに沿うように吸着保持する工程と、ヘッド1のR面1aの頂点部分に保持されたワークWの中央部分を、平坦なシート保持台3に支持されたダイサーシート4の粘着面に押しつける工程と、ヘッド1のR面1a部分を撓ませながらダイサーシート4に対して押し付け、ワークWの中央部分から周辺部分に向かってダイサーシート4の粘着面に押しつける工程と、ヘッド1の吸着保持を解除する工程と、ワークWをダイサーシート4の粘着面に貼り付けた状態でヘッド1をワークWから離す工程と、を有する。
請求項（抜粋）：
ダイサーカットされるワークとダイサーシートとの貼り付け方法であって、凸のR面を持ち、このR面に真空吸引穴を設けた弾性体よりなるヘッドに、上記ワークを上記R面に沿うように吸着保持する工程と、上記ヘッドのR面の頂点部分に保持されたワークの中央部分を、平坦なシート保持台に支持されたダイサーシートの粘着面に押しつける工程と、上記ヘッドのR面部分を撓ませながらダイサーシートに対して押し付け、上記ワークの中央部分から周辺部分に向かってダイサーシートの粘着面に押しつける工程と、上記ヘッドの吸着保持を解除する工程と、上記ワークをダイサーシートの粘着面に貼り付けた状態でヘッドをワークから離す工程と、を有するダイサーシート貼り付け方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B25J 15/06 M
, H01L 21/78 M
3C007AS24
, 3C007DS01
, 3C007FS01
, 3C007FT06
, 3C007FT11
, 3C007NS13
