特許

J-GLOBAL ID：200903092801513805

シリコン単結晶引上げ用石英ルツボ

発明者： 辻 義行 ,  岩見 幸二
出願人/特許権者： 三菱マテリアルクォーツ株式会社
代理人 (1件)： 大家 邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-128971
公開番号（公開出願番号）：特開平8-301693
出願日： 1995年04月28日
公開日（公表日）： 1996年11月19日
要約：

【要約】【構成】 壁体の内表面側部分が実質的に気泡を含有しない透明ガラス層からなり、壁体の外表面側部分が気泡を含有する不透明ガラス層からなる石英ルツボにおいて、該ルツボの周壁部と底部をつなぐ湾曲部における透明ガラス層の層厚が他の壁体部分の透明ガラス層よりも0.5mm以上厚く形成されていること及び同部の不透明層の厚さが他の部分より0.5mm以上薄く形成されていることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ルツボ。【効果】 ルツボの保温性を損なわずに、高酸素濃度の単結晶が収率高く得られる。

請求項（抜粋）：

壁体の内表面側部分が実質的に気泡を含有しない透明ガラス層からなり、壁体の外表面側部分が気泡を含有する不透明ガラス層からなる石英ルツボにおいて、該ルツボの周壁部と底部をつなぐ湾曲部における透明ガラス層の層厚が他の壁体部分の透明ガラス層よりも0.5mm以上厚く形成されていることを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ルツボ。

IPC (3件)：

C30B 29/06 502 ,  C03B 20/00 ,  H01L 21/208

FI (3件)：

C30B 29/06 502 B ,  C03B 20/00 ,  H01L 21/208 P