特許
J-GLOBAL ID:200903092820837905

熱処理装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大塚 康徳 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-123678
公開番号(公開出願番号):特開平11-329674
出願日: 1998年05月06日
公開日(公表日): 1999年11月30日
要約:
【要約】【課題】熱処理装置本体に電気的に与えられた熱量が平板状部材に集中して効率的に伝達される熱処理装置を提供する。【解決手段】熱処理を必要とする平板状部材の全面を均一に加熱するためのホットプレート式の熱処理装置において、平板状部材を載置するための平面状の加熱面34を有する熱処理装置本体30と、熱処理装置本体30を加熱するためのヒータ32とを備え、熱処理装置本体30は、その表面全体のうちの部分毎に、異なる種類の表面処理が施されている。
請求項(抜粋):
熱処理を必要とする平板状部材の全面を均一に加熱するためのホットプレート式の熱処理装置において、前記平板状部材を載置するための平面状の加熱面を有する熱処理装置本体と、該熱処理装置本体を加熱するためのヒータとを備え、前記熱処理装置本体は、その表面全体のうちの部分毎に、異なる種類の表面処理が施されていることを特徴とする熱処理装置。
IPC (4件):
H05B 3/12 ,  C03C 17/32 ,  G02B 5/20 101 ,  H05B 3/20 330
FI (4件):
H05B 3/12 B ,  C03C 17/32 A ,  G02B 5/20 101 ,  H05B 3/20 330

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