特許
J-GLOBAL ID:200903092828827631

光式ガスセンサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松本 孝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-306565
公開番号(公開出願番号):特開平7-159315
出願日: 1993年12月07日
公開日(公表日): 1995年06月23日
要約:
【要約】【目的】多種類のガスを高感度で検出できる光式ガスセンサを提供する。【構成】駆動電流及び温度に応じ、複数の検出ガスの吸収スペクトルに一致した波長及び強度のレーザ光を発振する複数の光源と、前記複数の検出ガスのそれぞれの吸収スペクトルに一致する光波長で最大光結合を得るように配置された従来と異なる光路から構成される複数の光学系を内蔵したガスセル部6と、レーザ光の通路であるとともに、光源とガスセル部、及びガスセル部と受光器とを結ぶ光伝送路7と、異なる光源からの波長の光を1つの光伝送路に合流する、また1つの光伝送路からの光を波長ごとに複数の光伝送路に分流するための、複数の光合波手段15と1つの光分波手段16を備えて、ガスセル部と受光部9とを結ぶ光伝送路の末端に受光器と検出装置11を備えたことを特徴とする。
請求項(抜粋):
駆動電流及び温度に応じ、複数の検出ガスの吸収スペクトルに一致した波長及び強度のレーザ光を発振する複数の光源と、前記複数の検出ガスのそれぞれの吸収スペクトルに一致する光波長で最大光結合を得るように配置された光路から構成される複数の光学系を内蔵したガスセル部と、レーザ光の通路であるとともに光源とガスセル部、及びガスセル部と受光器とを結ぶ光伝送路と、異なる光源からの波長の光を1つの光伝送路に合流する、または1つの光伝送路からの光を波長ごとに複数の光伝送路に分流するための、複数の光合波手段と1つの光分波手段とを備えて、ガスセル部と受光器とを結ぶ光伝送路の末端に受光器と検出装置を備えたことを特徴とする多種類ガス検出用光式ガスセンサ。
IPC (2件):
G01N 21/35 ,  G01N 21/21

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