特許

J-GLOBAL ID：200903092838961956

高純度ルテニウム粉末およびその製造方法

発明者： 持田 裕美 ,  田中 道広 ,  木村 正則
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 大家 邦久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-017253
公開番号（公開出願番号）：特開平11-217633
出願日： 1998年01月29日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：

【要約】【解決課題】 高純度Ru微粉末を経済的に製造する方法、および、かかる方法による高純度Ru微粉末の提供。【解決手段】 高温溶融法により得られる高純度ルテニウム(Ru)塊を衝撃破壊により粗粉砕し、さらに微粉砕することにより得られる、W含有量が1000ppm以下、その他の金属不純物量が各元素につきそれぞれ5ppm以下である、平均粒径が50μm以下の高純度Ru粉末。

請求項（抜粋）：

高温溶融法により得られる高純度ルテニウム(Ru)塊を衝撃破壊により粗粉砕し、さらに微粉砕することにより得られる、タングステン(W)の含有量が1000ppm以下で、その他の金属不純物量が各元素につきそれぞれ5ppm以下である、平均粒径が50μm以下の高純度Ru粉末。

IPC (3件)：

C22B 11/00 ,  B22F 9/04 ,  C22C 5/04

FI (3件)：

C22B 11/00 ,  B22F 9/04 C ,  C22C 5/04