光記録媒体用スタンパーの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-226190
公開番号（公開出願番号）：特開平8-096426
出願日： 1994年09月21日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】光記録媒体用スタンパーの従来の製造工程を改良して、金属スパッタ膜、電鋳膜、2P樹脂間の密着力を調整し、研磨加工時の耐久性を高めるとともに、スタンパーをレプリカから完全に剥離することができる製造法を得ることを目的とする。【構成】第1の手段、方法として、(1)マスター原盤のレプリカ樹脂のパターン面に金属スパッタ膜を設け、(2)該スパッタ膜上に金属電鋳層を形成する製造工程において、金属スパッタ膜の応力特性が厚さ方向に異なるよう形成するスタンパーの製造法を提供する。第2の手段、方法として、マザースタンパーのパターン上に導電化膜を形成し、更に電鋳法で金属スタンパーを製造する方法において、該導電化膜とマザースタンパーの間に、該導電化膜とは異種材料からなる導電化膜を1層設けることを特徴とするスタンパー製造方法を提供する。

請求項（抜粋）：

光学記録媒体のプリフォーマット形成用スタンパーの(1)マスター原盤のレプリカ樹脂のプリフォーマットパターン面に金属スパッタ膜を設け、(2)該金属スパッタ膜上に金属電鋳層を形成する製造工程において、金属スパッタ膜をその応力特性が厚さ方向に一定の割合で異なるように形成することを特徴とする光記録媒体用スタンパーの製造法。

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