特許
J-GLOBAL ID：200903092849500381
プラズマ・ディスプレイ・パネル用排気・封着炉
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-329759
公開番号（公開出願番号）：特開平10-172435
出願日： 1996年12月10日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 各マッフル間の温度差をなくすとともに、封入用発光ガスの使用量を低減し、真空排気装置を安価なものとするプラズマ・ディスプレイ・パネル用排気・封着炉を提供する。【解決手段】 炉内壁近傍にヒータ(H1)を設けたバッチ式真空炉本体(1)の真空室(R)に、周囲に封着材を介して重ね合わせた表面ガラス基板と背面ガラス基板とからなるプラズマ・ディスプレイ・パネル組立体(W)を収納するマッフル(7)を多段に配置して、少なくとも前記各マッフル間に、補助ヒータ(H2)と冷却管(C)を配設するとともに、前記真空室に復圧用気体供給管(12)と第1真空排気装置(8)を接続する一方、前記マッフルに発光ガス供給管(15)と第2真空排気装置(10)を接続したプラズマ・ディスプレイ・パネル用排気・封着炉。
請求項（抜粋）：
炉内壁近傍にヒータを設けたバッチ式真空炉本体の真空室に、周囲に封着材を介して重ね合わせた表面ガラス基板と背面ガラス基板とからなるプラズマ・ディスプレイ・パネル組立体を収納するマッフルを多段に配置して、少なくとも前記各マッフル間に、補助ヒータと冷却管を配設するとともに、前記真空室に復圧用気体供給管と第1真空排気装置を接続する一方、前記マッフルに発光ガス供給管と第2真空排気装置を接続したことを特徴とするプラズマ・ディスプレイ・パネル用排気・封着炉。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/26 A
, H01J 9/385 A
