特許
J-GLOBAL ID：200903092858244010
光学的変位測定装置及び多機能型光学的変位測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉田 研二
, 石田 純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-069908
公開番号（公開出願番号）：特開2009-222672
出願日： 2008年03月18日
公開日（公表日）： 2009年10月01日
要約：
【課題】光学的変位測定装置において、光源から測定対象物に光を導入する鏡筒部の長さの自由度を増して測定対象物の変位測定を行うことができるようにすることである。【解決手段】光学的変位測定装置10は、光源70からの光を往路光82として対物光学系に誘導する鏡筒部22と、往路光82の光路を変更して測定対象物である筐体8の側面6に導き、側面からの正反射光を屈折させて往路光82に平行な復路光84として鏡筒部22に戻す対物光学系としてのプリズム光学素子26とミラー光学素子28と、往路光82に平行な光軸86を有し復路光を集光する結像レンズ76と、結像レンズ76の焦点位置に配置され、往路光82に平行な復路光84のみを通すピンホール光学素子78と、ピンホール光学素子78を通過した光の位置を検出する光位置検出デバイス80とを含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
光源からの光を、対物光学系を含む光誘導部を介して測定対象物に入射し、測定対象物からの反射光を検出部で検出して、対物光学系と測定対象物との間の変位を測定する光学的変位測定装置であって、
光誘導部は、
光源からの光を往路光として対物光学系に誘導する鏡筒部と、
往路光の光路を変更して測定対象物の側に導き、測定対象物の側からの光を屈折させて復路光として鏡筒部に戻す対物光学系としてのプリズム光学素子と、
を含み、
検出部は、
往路光に平行な光軸を有し、復路光を集光する結像レンズと、
結像レンズの焦点位置に配置され、復路光のうち往路光に平行な成分のみを通すピンホール光学素子と、
ピンホール光学素子を通過した光の投影位置を検出する光位置検出デバイスと、
を含み、
プリズム光学素子は、その光軸に対し予め定めた傾斜角度でカットされた傾斜平面を少なくとも1つ有することを特徴とする光学的変位測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/00 B
, G01C3/06 110A
2F065AA06
, 2F065AA20
, 2F065BB08
, 2F065DD02
, 2F065DD06
, 2F065FF09
, 2F065FF44
, 2F065GG04
, 2F065HH03
, 2F065HH04
, 2F065JJ02
, 2F065JJ16
, 2F065JJ25
, 2F065LL12
, 2F065LL30
, 2F065LL47
, 2F112AA06
, 2F112AA08
, 2F112BA05
, 2F112BA10
, 2F112CA12
, 2F112CA13
, 2F112DA04
, 2F112DA09
, 2F112DA10
, 2F112DA13
, 2F112DA25
, 2F112DA32
出願人引用 (2件)
-
光学的変位測定器
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-078886
出願人：株式会社ミツトヨ
-
光学的変位測定器
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-239524
出願人：株式会社ミツトヨ
審査官引用 (2件)
-
内面画像撮込装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-243343
出願人：桐生機械株式会社
-
光学的変位測定器
公報種別：公開公報
出願番号：特願2004-239524
出願人：株式会社ミツトヨ
前のページに戻る
