特許
J-GLOBAL ID：200903092861968887
角速度センサ、角速度センサの製造方法、電子機器、及び回路基板
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大森 純一
, 折居 章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-017056
公開番号（公開出願番号）：特開2008-185369
出願日： 2007年01月26日
公開日（公表日）： 2008年08月14日
要約：
【課題】小型薄型化及び低コスト化を図りつつ、検出感度の良好な角速度センサを提供する。【解決手段】一枚の基板にスリットを形成して、コリオリ力を検出するための片持ち梁の振動子を固定する回路基板部と、外部接続用の端子を有する中継基板部と、回路基板部と中継基板部とを弾性支持するためのビーム(橋梁)部とを同一平面上に設けた角速度センサにおいて、金属製の基板材にエッチングによりスリットを形成してベース部とし、このベース部の面にガラス材からなる絶縁層を形成し、導体パターンを印刷したものを基板とした。これにより、振動子の激しい振動に十分対応できる基板が得られ、十分なQ値(共振ピークにおける振幅増幅率)を確保でき、検出感度の良好な角速度センサを提供できる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
コリオリ力を検出するための振動子と、
前記振動子を固定する基板であって、金属からなるベース部と、前記ベース部の上に設けられた絶縁層と、前記絶縁層に設けられた導体パターンとを有する基板と
を具備することを特徴とする角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
2F105AA08
, 2F105BB02
, 2F105BB13
, 2F105BB14
, 2F105BB15
, 2F105CC01
, 2F105CC04
, 2F105CC11
, 2F105CD13
