特許
J-GLOBAL ID：200903092862691730
超音波式浮揚搬送機構を備えたクラスターツール型枚葉処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
薬師 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-210175
公開番号（公開出願番号）：特開平11-040645
出願日： 1997年07月22日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】 構造が簡単で小型化でき、また、回転部分や接触・摺動部分がないためにほこりとなるパーティクルの発生がなく、ロードロックチャンバ内の真空度を低下させることのない、シール性に優れた超音波式浮揚搬送機構を備えたクラスターツール型枚葉処理装置を提供する。【解決手段】 ロードロックチャンバ73 内に、受け取り位置決め片702a,bと、超音波振動板704a,bと、該超音波振動板を励振する超音波励振手段とからなる超音波式浮揚搬送機構を設け、ロードロックチャンバ73 内をN2 ガスで満たした状態で超音波励振手段に印加される高周波励振電流の周波数と位相を制御することにより、超音波振動板704a,bに進行波からなる超音波振動を起こさせ、受け取り位置決め片上に載置された処理対象物Wをこの進行波からなる超音波振動に乗せて処理装置4またはセンターロボット1に向けて浮揚搬送する。
請求項（抜粋）：
センターロボットと所望の処理装置との間をつなぐロードロックチャンバ内に、センターロボット側のバルブと処理装置側のバルブとの間を結んで平行に掛け渡された処理対象物載置用の左右一対の受け取り位置決め片と、該左右一対の受け取り位置決め片の内側に位置して該受け取り位置決め片よりも僅かに低い位置に平行に配置された左右一対の超音波振動板と、該左右一対の超音波振動板の下面適宜位置にそれぞれ接続され、かつ、該超音波振動板にその表面と垂直な方向の縦振動を行なわせる複数個の超音波励振手段とからなる超音波式浮揚搬送機構を設け、前記ロードロックチャンバ内を不活性ガスで満たした状態で、前記超音波励振手段に印加される高周波励振電流の周波数と位相を制御することによって前記左右一対の超音波振動板に進行波からなる超音波振動を起こさせ、前記受け取り位置決め片上に載置された処理対象物を前記進行波からなる超音波振動に乗せて処理装置またはセンターロボットに向けて浮揚搬送するようにしたことを特徴とする超音波式浮揚搬送機構を備えたクラスターツール型枚葉処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, B65G 27/32
, C23C 16/44
, C23C 16/54
, H01L 21/304 351
H01L 21/68 A
, B65G 27/32
, C23C 16/44 F
, C23C 16/54
, H01L 21/304 351 C
