特許

J-GLOBAL ID：200903092863259697

クラスターイオン種のソフトランディング方法

発明者： 茅 幸二 ,  中嶋 敦 ,  小原 通昭
出願人/特許権者： 学校法人慶應義塾
代理人 (8件)： 韮澤 弘 ,  阿部 龍吉 ,  蛭川 昌信 ,  白井 博樹 ,  内田 亘彦 ,  菅井 英雄 ,  青木 健二 ,  米澤 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-336830
公開番号（公開出願番号）：特開2004-169129
出願日： 2002年11月20日
公開日（公表日）： 2004年06月17日
要約：

【課題】室温近くの比較的高温でクラスターを安定に保持し、V2 Bz3 等の一次元多層サンドイッチ構造を持つクラスターを解離することなく堆積させることができるクラスターイオン種のソフトランディング方法。【解決手段】基板11上に自己組織化単分子膜13を形成した後、質量選別したクラスターイオン種14をその基板11上に蒸着すると、自己組織化単分子膜13の分子鎖12がクラスターイオン種14の運動エネルギーを分子内振動、分子間振動等により吸収してバッファとなり、V1 Bz2 、V2 Bz3 のようなクラスターイオン種を高速で蒸着してもその解離する割合が小さくなり、高収率で堆積させることが可能になる。室温近くの比較的高温にしてもその固定されたクラスターを安定に保持することができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板上に自己組織化単分子膜を形成した後、質量選別したクラスターイオン種を前記基板上に蒸着することを特徴とするクラスターイオン種のソフトランディング方法。

IPC (1件)：

C23C14/24

FI (1件)：

C23C14/24 S

Fターム (4件)：

4K029AA02 ,  4K029BA62 ,  4K029CA01 ,  4K029HA00