特許
J-GLOBAL ID：200903092864184089
圧電振動子の薄膜電極
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-301039
公開番号（公開出願番号）：特開平7-131284
出願日： 1993年11月05日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】 圧電体基板への密着力が大きく、内部応力が小さく、かつ半田付け性の良好な圧電振動子の薄膜電極を得る。【構成】 圧電振動子10は、圧電体基板12を含む。圧電体基板12上に、薄膜電極14を形成する。薄膜電極14は、第1の金属層16と第2の金属層18とで形成される。第1の金属層16を、圧電体基板12への密着性のよい金属と延性および展性の大きい金属との合金で形成する。第2の金属層18を、第1の金属層16に含まれる延性および展性の大きい金属で形成する。
請求項（抜粋）：
圧電体基板上に形成される圧電振動子の薄膜電極であって、密着性の大きい金属と延性および展性の大きい金属との合金で形成されて前記圧電体基板上に配置される第1の金属層、および前記第1の金属層上に形成され、前記第1の金属層に含まれる延性および展性の大きい材料で形成された第2の金属層を含む、圧電振動子の薄膜電極。
IPC (2件)：
引用特許：
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