特許

J-GLOBAL ID：200903092867698890

ダイヤモンド膜の形成方法およびダイヤモンド膜を有する基体

発明者： 師岡 久雄 ,  横田 英明 ,  吉田 知生
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
代理人 (1件)： 石井 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-125280
公開番号（公開出願番号）：特開平6-316489
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：

【要約】【目的】 ダイヤモンド粒子を高密度かつ均一に再現性よく析出させることを目的とし、また、ダイヤモンド膜を所望のパターンに精度よくしかも簡便に形成することを目的とする。【構成】 希土類酸化物粒子および/または希土類ハロゲン化物粒子を含む無機粒子を基体表面に配置した後、または、希土類酸化物および/または希土類ハロゲン化物を含む無機膜を基体表面に形成した後、CVD法により基体表面側にダイヤモンド膜を形成する。

請求項（抜粋）：

希土類酸化物粒子および/または希土類ハロゲン化物粒子を含む無機粒子を基体表面に配置した後、CVD法により基体表面側にダイヤモンド膜を形成することを特徴とするダイヤモンド膜の形成方法。

IPC (4件)：

C30B 29/04 ,  C30B 25/02 ,  C30B 25/04 ,  H03H 9/25

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-228497
  
• 特開昭63-166733
  
• 特開平4-119995
  
• 特開平3-141195