特許

J-GLOBAL ID：200903092871326255

質量流量計

発明者： 小山 富久
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-354477
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198437
出願日： 1993年12月29日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：

【要約】【目的】 上流側或いは下流側定温度差回路にドリフト補償手段を設けることによりドリフトを相殺することができる質量流量計を提供する。【構成】 流体が流れる流体通路4の上流側に上流側センサ抵抗Rsuを設け、これに上流側周囲温度検出抵抗Rtuと上流側基準抵抗R30u を直列に接続し、センサ抵抗の値と周囲温度検出抵抗及び基準抵抗の和の値が等しくなるように制御された上流側定温度差回路30Uと、上記流体通路の下流側に下流側センサ抵抗Rsdを設け、これに下流側周囲温度検出抵抗Rtdと下流側基準抵抗R30d と直列に接続して、このセンサ抵抗の値と周囲温度検出抵抗及び基準抵抗の和の値が等しくなるように制御された下流側定温度差回路30Dを有し、上記各センサ抵抗に与えられるエネルギ差に基づいて流体の質量流量を求めるようにした質量流量計において、上記いずれかの定温度差回路に例えばこの基準抵抗を可変にすることによりドリフト補償手段34を設ける。そして、ドリフトを相殺するようにこの抵抗値を初期設定することにより、ドリフトを抑制する。

請求項（抜粋）：

流体が流れる流体通路の上流側に上流側センサ抵抗を設け、これに上流側周囲温度検出抵抗と抵抗温度係数が略零の上流側基準抵抗を直列に接続すると共に前記上流側センサ抵抗の値と、前記上流側周囲温度検出抵抗と前記上流側基準抵抗との和の値が常に等しくなるように制御された上流側定温度差回路と、前記流体通路の下流側に下流側センサ抵抗を設け、これに下流側周囲温度検出抵抗と抵抗温度係数が略零の下流側基準抵抗を直列に接続すると共に前記下流側センサ抵抗の値と、前記下流側周囲温度検出抵抗と前記下流側基準抵抗との和の値が常に等しくなるように制御された下流側定温度差回路とを有し、前記上流側センサ抵抗と前記下流側センサ抵抗に与えられるエネルギの差に基づいて、前記流体の質量流量を求めるようにした質量流量計において、前記上流側及び下流側定温度差回路の内、少なくとも一方の回路にはドリフト補償手段を形成するように構成したことを特徴とする質量流量計。