特許

J-GLOBAL ID：200903092872823589

搬送装置及びその搬送装置を適用した基板処理装置並びにこれらに使用する治具

発明者： 西村 和浩 ,  橋本 康彦 ,  佐野 正俊
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社 ,  川崎重工業株式会社
代理人 (1件)： 吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-328776
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163083
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 オペレータの負担を低減するとともに、正確かつ短時間で効率的にアームの位置ズレを解消すること。【解決手段】 アーム31aに2つの光センサ230,240が設けられた治具をセットし、そのアーム31aを基板の受渡部にアクセスさせ、基板を載置するピンPN1〜PN3と治具とを所定の近接状態とする。光センサ230はピンPN2に感応し、光センサ240はピンPN1に感応する。そして、アーム31aを±θ,±X,+Z方向に移動させ、各光センサ230,240がON・OFFする位置を位置情報として記憶する。そして、得られた各θ軸,X軸,Z軸についての位置情報に基づいてアーム31aの位置ズレを求めるとともに、アーム31aがアクセスすべき正確な搬送位置を設定する。

請求項（抜粋）：

ティーチングによって指定される搬送位置に対してアームをアクセスして被搬送物の搬送を行う装置であって、(a) 前記アームに所定の治具を保持させた状態で、前記被搬送物を搬送する位置に形成された3本以上のピンに対して所定の相対的位置関係になるまで近接させ、当該近接状態において前記アームを所定の複数の方向に移動させることによって、前記3本以上のピンのうちの複数のピンの位置を検出して位置情報として取得する制御手段と、(b) 前記位置情報に基づいて、前記アームのアクセスする前記搬送位置を設定する設定手段と、を備えることを特徴とする搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25B 11/00 ,  B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 A ,  B25B 11/00 Z ,  B65G 49/07 C