特許
J-GLOBAL ID:200903092875777839

静圧軸受スピンドルの回転振れ精度の予測方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡部 敏彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-331104
公開番号(公開出願番号):特開2000-161360
出願日: 1998年11月20日
公開日(公表日): 2000年06月13日
要約:
【要約】【課題】 静圧軸受スピンドルの回転振れ精度を予測することができる静圧軸受スピンドルの回転振れ精度の予測方法を提供する。【解決手段】 静圧軸受に軸支されたスピンドル軸の真円度は接触式の電気マイクロメータを用いた真円度測定機により測定される。測定された真円度の成分は、所定の軸受面相当軸方向長さにわたって軸方向に平均した場合に相殺されるA成分と、当該平均した後も相殺されずに残るB成分とを含む。このようなB成分は、A成分に比べて静圧軸受スピンドルの回転振れ精度に与える影響が大きい。上記成分Bを測定するために、スピンドル静圧軸受における軸受面相当軸方向長さにわたって該スピンドル軸の真円度を複数回測定し、該測定されたスピンドル軸の真円度を平均して該スピンドル軸の平均真円度を取得し、この取得されたスピンドル軸の平均真円度に基づいて静圧軸受スピンドルの回転振れ精度を予測する。
請求項(抜粋):
静圧軸受に軸支されたスピンドル軸の軸受面相当軸方向長さにわたって該スピンドル軸の真円度を複数回測定し、該測定されたスピンドル軸の真円度を平均して該スピンドル軸の平均真円度を取得し、該取得されたスピンドル軸の平均真円度に基づいて前記静圧軸受スピンドルの回転振れ精度を予測することを特徴とする静圧軸受スピンドルの回転振れ精度の予測方法。
IPC (3件):
F16C 32/06 ,  G01B 7/34 101 ,  G01B 21/30 101
FI (3件):
F16C 32/06 C ,  G01B 7/34 101 B ,  G01B 21/30 101 Z
Fターム (31件):
2F063AA10 ,  2F063AA46 ,  2F063BA30 ,  2F063BC04 ,  2F063DA02 ,  2F063DA05 ,  2F063DA08 ,  2F063DB01 ,  2F063DB04 ,  2F063HA00 ,  2F063LA16 ,  2F069AA56 ,  2F069BB40 ,  2F069CC05 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ13 ,  2F069JJ22 ,  2F069NN26 ,  2F069RR01 ,  3J102AA02 ,  3J102BA03 ,  3J102BA19 ,  3J102CA11 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102EA18 ,  3J102EB03 ,  3J102FA08 ,  3J102GA07

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