特許
J-GLOBAL ID：200903092884768265
碍子汚損度測定方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-067048
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281573
出願日： 1993年03月25日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：
【要約】【目的】 碍子の汚損度を迅速に測定する測定装置を提供する。【構成】 被測定碍子に対物レンズ14を通して照射するレーザ光R1を発生するレーザ光発生器10と、被測定碍子から反射された散乱反射光R2を受光レンズ16を通して撮像するCCDカメラ19とを収納する。前記CCDカメラ19には撮像された画像を処理してスペックルパターンを得るスペックルパターン化手段としての画像処理装置26を接続する。
請求項（抜粋）：
被測定碍子にレーザ光を照射し、該碍子からの散乱反射光を撮像し、この画像を処理して得られるスペックルパターンにより碍子表面の汚損度を判定することを特徴とする碍子汚損度測定方法。
IPC (3件)：
G01N 21/47
, G01N 21/88
, G01R 31/12
