特許
J-GLOBAL ID:200903092887324600
洗浄装置付測定機
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
木下 實三 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-201957
公開番号(公開出願番号):特開2000-035325
出願日: 1998年07月16日
公開日(公表日): 2000年02月02日
要約:
【要約】【課題】 常に清浄な測定面を確保できて測定誤差が生じないようになり、測定の信頼性を向上させることができる洗浄装置付測定機を提供する。【解決手段】 被測定物の測定面にプローブ8を接触させその変位量を検出する測定機に、プローブ装着部6に設けられる洗浄装置10と、この洗浄装置10をプローブ8の軸線中心に回動自在に駆動させる回動駆動手段30を取り付け、洗浄装置10はプローブ先端近傍の測定面にエアを吹き付ける1本のノズル21を有する。そのため、測定の直前にノズルから噴出される気体により測定面が洗浄されるので、ゴミや切り屑等が付着していても吹き飛ばすことができ、また、ノズルを洗浄に最適の位置に向けることができる。その結果、常に清浄な測定面を確保でき測定誤差が生じなくなり、測定の信頼性を向上させることができる。
請求項(抜粋):
被測定物の測定面にプローブを接触させその変位量を検出する測定機において、前記プローブ装着部に設けられる洗浄装置と、この洗浄装置を前記プローブの軸線中心に回動自在に駆動させる回動駆動手段とを備え、前記洗浄装置は前記プローブ先端近傍の測定面に気体を吹き付ける1本のノズルを有することを特徴とする洗浄装置付測定機。
IPC (2件):
FI (2件):
G01B 21/00 E
, B05B 3/02 G
Fターム (17件):
2F069AA04
, 2F069AA66
, 2F069DD13
, 2F069GG01
, 2F069GG62
, 2F069HH02
, 2F069JJ08
, 2F069LL04
, 2F069PP04
, 4F033PA01
, 4F033PA16
, 4F033PA18
, 4F033PB02
, 4F033PB09
, 4F033PB12
, 4F033PD02
, 4F033PD06
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