特許
J-GLOBAL ID：200903092890254540
圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伴 俊光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-045701
公開番号（公開出願番号）：特開平6-235671
出願日： 1993年02月09日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：
【要約】【目的】 振動、温度変動、流体全体に伝播されるノイズ等に対して、センサ構造による補正に加えるとともに電気的な信号処理を施して、SN比が極めて高い、高感度で信頼性の高い圧力センサに、更に信号処理回路内部に定電圧回路を備えたことにより、感度が一定し、対電源電圧特性が良好な圧力センサを提供する。【構成】 膜状圧電体の両面に電極層を設けた2個の圧電素子(2、3)を、同一方向の面が同一の分極極性となるように配置し、2個の入口ノズル(39、40)から流体圧力を、一方の圧電素子の第1の面と他方の圧電素子の第2の面、および他方の圧電素子の第1の面と一方の圧電素子の第2の面にそれぞれ導入し、圧電素子からの出力を増幅回路部(53)に接続する圧力センサ(1)であって、電気的信号処理回路(5)内部に定電圧回路(51)を備えた圧力センサ(1)。
請求項（抜粋）：
膜状圧電体の両面に電極層を設けた2個の圧電素子を、それぞれ2個一対のホルダで両面から挟持して張設した圧力検出部を備え、前記2個の圧電素子は同一の方向を向きかつ同一方向の面が同一分極極性となるように配置され、前記圧力検出部には流体の圧力を導入する2個の入口ノズルが設けられ、一方の入口ノズルが第1の流体圧力導入経路を介して一方の圧電素子の第1の面に連通されるとともに第4の流体圧力導入経路を介して前記一方の圧電素子の第1の面とは分極極性が異なる他方の圧電素子の第2の面に連通され、他方の入口ノズルが第2の流体圧力導入経路を介して前記一方の圧電素子の第2の面に連通されるとともに第3の流体圧力導入経路を介して前記他方の圧電素子の第1の面に連通された圧力センサであって、前記2個の圧電素子からの出力を、圧力センサ内部の信号処理回路の増幅回路部に送るとともに、該信号処理回路内部に、定電圧回路を備えていることを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 9/08
, G01F 1/00
, G01L 9/00
